Záray Gyula, Mihucz Viktor Gábor (szerk.)

Az elemanalitika korszerű módszerei

2., átdolgozott kiadás


Vékonyrétegek vizsgálata

A félvezetőiparban Si-egykristályból szeletelt lapok szolgálnak a mikroáramkörök alapjául. Az egyre nagyobb bonyolultságú áramkörök gyártása során évről évre egyre növekszik a Si-lapkák felületén kialakított alkatrészek sűrűsége. Napjainkban rutinszerűnek számít a 0,1 µm alatti szélességű rétegekből álló áramköri elemek előállítása. A felületi szennyezések befolyásolják a kialakított rétegek tulajdonságait, például szivárgó áramot okozhatnak, csökkentik a működés megbízhatóságát. Az alkatrészek sűrűségének növelése tehát egyre nagyobb tisztaságú Si-lapok előállítását követeli. A TXRF-méréstechnika lehetőséget teremt a felület roncsolásmentes, egyidejű nyomanalízisére, ezáltal szinte versenytárs nélküli ezen a területen. A Si-egykristály-lapok felülete polírozott és sík, így jól megközelíti a TXRF-mintatartóval szemben támasztott követelményeket. Vonalfókuszálású és forgóanódos röntgencsöves gerjesztést alkalmazó spektrométerekkel az átmenetifémek esetén 109 atom/cm2 kimutatási határ érhető el jelenleg. A felületet a detektor látómezőjének megfelelő, kb. 0,5 cm2 részekre osztva letapogatják. A lapok méretétől függően a teljes felület letapogatása 10–16 órát is igénybe vehet, és teljesen automatizáltan történik. Amennyiben rögzített, általában a határszög kb. 70%-ának megfelelő () megvilágítási szög mellett történik a letapogatás, a szennyezés felületi koncentráció-eloszlásáról kapunk felvilágosítást.

Az elemanalitika korszerű módszerei

Tartalomjegyzék


Kiadó: Akadémiai Kiadó

Online megjelenés éve: 2019

ISBN: 978 963 454 448 7

Dr. Záray Gyula egyetemi tanár által 2006-ban szerkesztett és részben írt Az elemanalitika korszerű módszerei című könyv több évtizedes hiánypótló mű volt, ami az elmúlt tíz évben rendkívül hasznos segédeszköznek bizonyult az egyetemeinken kémiát alap- és mesterfokon tanuló, illetve PhD-tanulmányokat folytató hallgatók körében. A könyv nyomtatott változatának valamennyi példánya vevőre talált. Ez nem meglepő, hiszen a szerzők magas szinten, ugyanakkor közérthetően ismertetik a műszeres elemanalitikai módszerek széles skáláját, ötvözve az elméleti és a gyakorlati ismereteket. Záray Gyula kezdeményezésére több szerző kiegészítette fejezetét az adott szakterület (pl. optikai spektroszkópia, atomabszorpciós spektrometria, induktív csatolású optikai emissziós spektrometria, induktív csatolású plazma tömegspektrometria, lézerspektroszkópia és az ezekhez kapcsolódó minta-előkészítési eljárások) legújabb eredményeivel. Az átdolgozott változat szerkesztésében tevékenyen részt vett Záray professzor munkatársa, Mihucz Viktor Gábor egyetemi docens, aki az atomspektrometriában alkalmazott minta-előkészítési módszerekkel foglalkozó fejezetet a legújabb eredményekkel bővítette. Az Akadémiai Kiadó kezdeményezésére az átdolgozott mű 2017-ben elektronikus formában is megjelent. A könyvben összefoglalt ismeretanyag hasznos információkat nyújt számos szakterületen (pl. műszaki kémia, biokémia, klinikai kémia, geokémia, agrokémia) dolgozó analitikus számára, ezért papíralapú formában való kiadása is indokolt. (Dr. Orbán Miklós professor emeritus ELTE Kémiai Intézet)

Hivatkozás: https://mersz.hu/zaray-mihucz-az-elemanalitika-korszeru-modszerei-2-atd-kiadas//

BibTeXEndNoteMendeleyZotero

Kivonat
fullscreenclose
printsave