Záray Gyula (szerk.)

Az elemanalitika korszerű módszerei


Vékonyrétegek vizsgálata

A félvezetőiparban szilícium-egykristályból szeletelt lapok szolgálnak a mikroáramkörök alapjául. Az egyre nagyobb bonyolultságú áramkörök gyártása során évről évre egyre növekszik a Si-lapkák felületén kialakított alkatrészek sűrűsége. Napjainkban rutinszerűnek számít a 0,1 µm alatti szélességű rétegekből álló áramköri elemek előállítása. A felületi szennyezések befolyásolják a kialakított rétegek tulajdonságait, például szivárgó áramot okozhatnak, csökkentik a működés megbízhatóságát. Az alkatrészek sűrűségének növelése tehát egyre nagyobb tisztaságú Si-lapok előállítását követeli. A TXRF-méréstechnika lehetőséget teremt a felület roncsolásmentes, egyidejű nyomanalízisére, ezáltal szinte versenytárs nélküli ezen a területen. A Si-egykristály-lapok felülete polírozott és sík, így jól megközelíti a TXRF-mintatartóval szemben támasztott követelményeket. Vonalfókuszú és forgóanódos röntgencsöves gerjesztést alkalmazó spektrométerekkel az átmenetifémek esetén 109 atom/cm2 kimutatási határ érhető el jelenleg. A felületet a detektor látómezőjének megfelelő, kb. 0,5 cm2 részekre osztva letapogatják. A lapok méretétől függően a teljes felület letapogatása 10–16 órát is igénybe vehet, és teljesen automatizáltan történik. Amennyiben rögzített, általában a határszög kb. 70%-ának megfelelő () megvilágítási szög mellett történik a letapogatás, akkor a szennyezés felületi koncentráció-eloszlásáról kapunk felvilágosítást.

Az elemanalitika korszerű módszerei

Tartalomjegyzék


Kiadó: Akadémiai Kiadó

Online megjelenés éve: 2016

ISBN: 978 963 059 850 7

Az elemek minőségi és mennyiségi meghatározására kifejlesztett műszeres analitikai módszerek nélkülözhetetlen eszközei a természettudományi kutatásoknak és a minőségellenőrzésnek az ipar és a mezőgazdaság különböző területein. Segítségükkel nyerhetünk információt különböző anyagrendszerek (pl. talajok, felszíni vizek, légköri aeroszolok, meteoritok, fémötvözetek és nagytisztaságú fémek, kerámiák, élelmiszerek, biofilmek, vér- és vizeletminták stb.) elemösszetételéről. A nagyteljesítményű műszeres analitikai technikák több esetben fg/g - pg/g kimutatási határokkal és 5-8 koncentráció nagyságrendet átfogó munkatartományokkal jellemezhetők, azaz lehetővé teszik a fő-, mellék- és nyomalkotók egyidejű meghatározását akár 70 elem vonatkozásában is. Az ismertetett módszerek közül a felhasználó analitikusnak kell eldöntenie, hogy az adott anyagrendszer vizsgálatához roncsolásos vagy roncsolásmentes módszert, és ehhez mely mintaelőkészítési technikát alkalmaz. Ezen döntések meghozatalához nyújt a könyv megfelelő hátteret, ismertetve a különböző módszerek elméleti alapjait és gyakorlati példákkal segítve a legmegfelelőbb módszer kiválasztását.

A könyv egyaránt ajánlható egyetemi hallgatóknak, doktoranduszoknak és az analitikai laboratóriumokban dolgozó szakembereknek.

Hivatkozás: https://mersz.hu/zaray-az-elemanalitika-korszeru-modszerei//

BibTeXEndNoteMendeleyZotero

Kivonat
fullscreenclose
printsave