Napjainkban egyre több alkalmazás követeli meg nyomkoncentrációjú elemek mennyiségének mikroszkopikus mintatérfogatból való meghatározását. A röntgenoptikai eszközök fejlődése lehetővé tette hagyományos diffrakciós röntgencsövek vagy szinkrotronsugárzás felhasználásával mikrométeres mérettartományú röntgennyalábok előállítását, amely megnyitotta az utat az XRF-analízis előtt, hogy mikroanalitikai módszerré váljék. A mikroszkopikus röntgenfluoreszcencia-analízis (µ-XRF) két fő módban alkalmazható elemanalitikára. Pontanalízis során egy kiválasztott mikroszkopikus térfogatot gerjesztünk a mikroszkopikus röntgennyalábbal, amelynek elemi összetételére kíváncsiak vagyunk. Pásztázó módban kétdimenziós elemeloszlási térképek vehetők fel a mintáról, amelynek térbeli felbontását a röntgennyaláb mérete határozza meg. A pásztázás — a töltött részecskenyaláboktól eltérően — nem a nyaláb, hanem a minta mozgatásával érhető el, azaz álló nyalábban a minta mozog két egymásra merőleges (XY) irányban. Emiatt a pásztázó módú µ-XRF-kísérleti állomások mintaállványa legalább kétdimenziós transzlációs lehetőséggel rendelkezik, számítógépes vezérlésű léptetőmotorokkal mozgatható, ami lehetővé teszi a minta letapogatását, illetve az alkalmazott röntgenoptika fókuszsíkjába való beállítását. Precíziós léptetőmotorokkal már 1 µm-en belüli pontossággal pozícionálható a mintaasztal. A minta mérés közbeni megfigyeléséhez érdemes TV-kamerával felszerelt optikai mikroszkópot alkalmazni, amelynek fókuszsíkja megegyezik az alkalmazott röntgenoptikáéval. Az objektívlencse nagyításának elfogadható munkatávolsághoz kell illeszkednie, hogy a bejövő vagy a kimenő nyaláb átmetszése elkerülhető legyen. A µ-XRF az utóbbi évtizedben hatalmas fejlődésen ment keresztül, aminek természetes velejárója e méréstechnika elvét és alkalmazásait részletesen bemutató könyv megjelenése [10].